該系統(tǒng)是針對SPM的專業(yè)研究應(yīng)用所研發(fā)的。采用自制杜瓦型低溫恒溫器，可獲得5K的低溫，制冷劑利用效率高。特殊設(shè)計(jì)的掃描探頭結(jié)構(gòu)緊湊、體積小巧，具有極好的機(jī)械和溫度穩(wěn)定性。兼容目前主流商業(yè)化樣品架，可原位更換針尖、樣品和沉積分子/原子。集成了基于tuning fork技術(shù)的AFM，可在STM和AFM兩種模式下工作。

系統(tǒng)同時集成了專業(yè)的MBE腔體和獨(dú)立的樣品處理腔，具有液氮的冷屏和多達(dá)7個蒸發(fā)源安裝位置，可以通過RHEED和LEED等手段監(jiān)控生長。尚在研發(fā)中，主要技術(shù)指標(biāo)待測。